壓電偏轉(zhuǎn)臺內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計，這種結(jié)構(gòu)具有高的穩(wěn)定性和良好的導向精度，能夠確保在運動過程中減少機械摩擦和回差，提高偏轉(zhuǎn)精度和重復性；整體結(jié)構(gòu)通常較為緊湊，體積小巧，便于集成到各種光學系統(tǒng)中，如顯微系統(tǒng)、掃描系統(tǒng)等，且不會占用過多的空間。
 

　　壓電偏轉(zhuǎn)臺的應(yīng)用領(lǐng)域：
 

　　-激光光束掃描與合束：在激光加工、激光通信、激光顯示等領(lǐng)域，需要對激光光束進行準確的掃描和合束操作，能夠提供高精度的角度調(diào)整，確保激光光束準確地指向目標位置，實現(xiàn)復雜的掃描圖案和合束效果。
 

　　-半導體加工：在半導體制造過程中，如光刻、蝕刻等工藝環(huán)節(jié)，需要對晶圓或芯片進行準確的定位和角度調(diào)整，可用于晶圓定位系統(tǒng)，保證加工的高精度和高質(zhì)量。
 

　　-生物醫(yī)學：在生物醫(yī)學成像、激光治療等應(yīng)用中，可用于調(diào)整光學元件的角度，實現(xiàn)對生物樣本的準確掃描和成像，或者控制激光治療設(shè)備的能量輸出方向，提高治療效果和安全性。

 

　　壓電偏轉(zhuǎn)臺的測定步驟：
 

　　1.準備工作：
 

　　-設(shè)備檢查：確?？刂破鳌㈦娫吹仍O(shè)備外觀無損壞，連接線完好無損。檢查各部件的連接是否牢固，包括偏轉(zhuǎn)臺與底座、控制器與電源、偏轉(zhuǎn)臺與控制器之間的連接等。
 

　　-環(huán)境準備：放置在穩(wěn)定、平整的工作臺上，避免振動和沖擊。確保工作環(huán)境溫度、濕度在設(shè)備允許的范圍內(nèi)，一般溫度控制在20℃±5℃，濕度保持在40-60為宜。同時，要遠離強磁場、強電場和強光源等干擾源。
 

　　-校準工具準備：根據(jù)需要準備好相應(yīng)的測量工具，如激光干涉儀、角度測量儀、位移傳感器等，用于對偏轉(zhuǎn)臺的性能進行測量和校準。
 

　　2.初始設(shè)置：
 

　　-通電預(yù)熱：連接好電源和控制器，按照設(shè)備說明書的要求進行通電預(yù)熱，一般預(yù)熱時間為15-30分鐘，使設(shè)備達到穩(wěn)定的工作狀態(tài)。
 

　　-參數(shù)設(shè)置：根據(jù)具體的測試要求，在控制器上設(shè)置相關(guān)的參數(shù)，如電壓范圍、驅(qū)動頻率、偏轉(zhuǎn)角度范圍等。這些參數(shù)的設(shè)置應(yīng)參考設(shè)備的技術(shù)手冊和實際測試需求。
 

　　3.性能測量：
 

　　-位移測量：使用位移傳感器或激光干涉儀等設(shè)備，對壓電偏轉(zhuǎn)臺的位移進行測量。在不同的驅(qū)動電壓下，記錄偏轉(zhuǎn)臺的位移變化，繪制位移-電壓曲線，以確定偏轉(zhuǎn)臺的位移分辨率、線性度和重復性等性能指標。
 

　　-角度測量：對于具有角度偏轉(zhuǎn)功能的壓電偏轉(zhuǎn)臺，使用角度測量儀或光學自準直儀等設(shè)備，測量偏轉(zhuǎn)臺的角度變化。在不同電壓驅(qū)動下，記錄偏轉(zhuǎn)角度，分析其角度分辨率、精度和滯后性等性能。
 

　　-頻率響應(yīng)測量：通過施加不同頻率的驅(qū)動信號，測量響應(yīng)情況。記錄偏轉(zhuǎn)臺在不同頻率下的位移或角度變化，繪制頻率響應(yīng)曲線，以確定偏轉(zhuǎn)臺的工作頻率范圍和共振頻率等參數(shù)。
 

　　4.數(shù)據(jù)處理與分析：
 

　　-數(shù)據(jù)記錄：在測量過程中，準確記錄各項測量數(shù)據(jù)，包括驅(qū)動電壓、位移、角度、頻率等參數(shù)。可以使用數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)或手動記錄的方式進行數(shù)據(jù)記錄，確保數(shù)據(jù)的準確性和完整性。
 

　　-數(shù)據(jù)分析：對記錄的數(shù)據(jù)進行處理和分析，計算偏轉(zhuǎn)臺的各項性能指標，如分辨率、精度、重復性、線性度等。通過對比不同測量條件下的數(shù)據(jù)，分析偏轉(zhuǎn)臺的性能特點和存在的問題，并評估其是否滿足使用要求。